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제 목	울산포장이사
작성자	이기혁
울산포장이사장 디렉터는 "CFE 기술을 통해 전자빔의 초점 크기를 50% 이상 줄이고, 기존 대비 최대 10배 빠른 속도로 이미지를 획득할 수 있다"라며 "기존 방식보다 3배 빠른 결함 분석 속도를 제공하면서도, 양산 라인의 생산성을 저해하지 않는다"고 강조했다. SEM비전 H20은 기존 시스템과 차별화된 또 하나의 핵심 기술로 AI 기반 결함 분석 기능을 적용했다. AI 모델이 웨이퍼 데이터를 학습하며, 검사 과정에서 거짓 경보(false alarm)를 자동으로 필터링하고, 실제 결함을 빠르게 분류하는 방식이다. ◆ AI 도입, 결함 자동 분류…효율 향상 6배 이상 = 장 디렉터는 "반도체 제조 환경에서는 결함인지 아닌지를 판별하는 것이 핵심 과제다"라며 "기존에는 결함 판별을 위해 엔지니어가 직접 수천 개의 이미지를 분석해야 했지만, AI를 활용하면 이를 자동으로 필터링해 분석 시간을 대폭 줄일 수 있다"고 설명했다. 대구이사업체추천특히 어플라이드의 독점적인 AI 알고리즘은 웨이퍼 내 패턴 데이터를 지속적으로 학습해, 결함 유형을 ▲보이드(void) ▲잔여물 ▲스크래치 ▲입자 등으로 세분화한다. 이를 통해 이전보다 6배 이상 빠르게 결함을 검출하고, 분석 정확도를 극대화할 수 있다. 장 디렉터는 이번 신제품이 최첨단 반도체 공정 전반에 적용 가능하다는 점을 강조했다. 장 디렉터는 "SEM비전 H20은 2나노(nm) 이하 로직 공정, 최신 D램, 3D 낸드 등 모든 차세대 반도체 기술을 지원한다"며 "현재 모든 첨단 공정에서 검증이 완료됐고, 주요 반도체 고객사들이 실제 양산 라인에서 사용 중"이라고 밝혔다. 또한 경쟁사 대비 기술적 우위를 강조했다. "CFE 기술은 AMAT가 15년 이상 연구개발(R&D)을 거쳐 상용화한 기술"이라며 "현재 업계에서 CFE를 상용화한 기업은 어플라이드 머티어리얼즈가 유일하다"라고 말했다. 인천이사업체추천그는 "반도체 결함 검사는 더 이상 단순한 리뷰(review)가 아니라, 실시간 결함 예측 및 공정 최적화의 핵심 도구로 변화하고 있다"라며 "AMAT는 AI·CFE 기술을 통해 결함 검출 속도를 획기적으로 높이는
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